摘要規格
1）一般各種規格
　-電源AC100V±5％，50/60赫茲，200VA 
　-空氣源5公斤/厘米2?9公斤/ cm 2的清潔空氣的東西
　，在室溫下操作：20℃±5℃濕度：80％RH下面
2）精度保證
　型槽寬度.........±1μm以下
　，槽寬度的并行......1μm以下
　，槽寬垂直......1μm以下
　，槽分割角度......±30弧秒
　型槽方向同心......± 1角分
　字形圖......（橫向放大率×20，×50選擇）
　　　　　　　　　　 （縱倍率×200，×500選擇）
　　　　　　　　　　 （逆流同心度的補償是否選擇）

摘要規格
1）一般各種規格
　-電源AC100V 50/60赫茲500VA 
　-空氣源4公斤/厘米2或更多的壓縮空氣
　中，操作一般測量環境
2）循環時間
　2.6秒/數
3）精度
　-重復性2微米
4）通過/失敗判定設定單位
　·zui小單位1μm5 
）顯示
　·計算結果表顯示，zui小單位1μm6 
）數據輸出
　·RS232C兼容
7）良品數量，缺陷數（整體，項目）

概要規格
1）AC 100 V 10 A以下
2）測試時間2.5 s / 1判斷輸出
3）分辨率 512×480像素
4）IC卡可以處理各種產品。